เครื่องทำน้ำเย็น Turbomolecular Pump / Magentically Levitated Pump บนตัวควบคุมบอร์ด

ปั๊ม Maglev , CXF-320/3001E , ระบายความร้อนด้วยน้ำ , ISO-F , ออนบอร์ด

แบริ่งแม่เหล็กไฟฟ้าเรียกอีกอย่างว่า ”active magnetic levitated bears” ซึ่งประกอบด้วยตลับลูกปืนแม่เหล็ก เซ็นเซอร์ และระบบควบคุมการออกแบบนี้มีการตอบสนองแบบไดนามิกและการปรับในเวลาที่เหมาะสม เพลาความเร็วสูง และการทำงานที่เชื่อถือได้

ปั๊มโมเลกุลที่ลอยด้วยแม่เหล็กคือปั๊มที่มีการรองรับเพลาโดยอาศัยแรงแม่เหล็ก

ซีรีย์ปั๊มโมเลกุลลอยด้วยแม่เหล็กเป็นอุปกรณ์สร้างสุญญากาศที่พัฒนาโดย KYKY เพื่อให้ตรงตามข้อกำหนดการใช้งานสำหรับสาขาการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ทันสมัย ​​การผลิตชิป การชุบอุตสาหกรรม และเครื่องมือทางวิทยาศาสตร์

ข้อดี:

1. แรงเสียดทานเป็นศูนย์ระหว่างการทำงานและใช้พลังงานต่ำ

2. ง่ายต่อการรับสูญญากาศสูงและสูญญากาศสูงพิเศษโดยไม่ต้องหล่อลื่นสำหรับปั๊ม

3. สามารถสกัดก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนได้ในระยะยาว

4. ความปลอดภัยสูงและอายุการใช้งานยาวนานเนื่องจากมีการป้องกันลูกปืนด้วยลูกปืนเซรามิกที่แม่นยำ

5. ฟังก์ชั่นสร้างพลังงานในกรณีที่ปิดเครื่องกะทันหัน

6. ปราศจากแรงเสียดทาน

7. ปราศจากมลภาวะ

8. ฟรีบำรุงรักษา

9. การสั่นสะเทือนต่ำ

10. ติดตั้งในทิศทางใดก็ได้

การใช้งาน:

ซีรีย์ปั๊มโมเลกุลลอยด้วยแม่เหล็กส่วนใหญ่ใช้กับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การผลิตคลิป การชุบอุตสาหกรรมและเครื่องมือทางวิทยาศาสตร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการสกัดก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนที่มีอยู่ในการกัด CVD PVD และการฝังไอออนและก๊าซที่ตกตะกอนได้ง่ายที่อุณหภูมิปกติ

ข้อมูลจำเพาะ:

เทคโนโลยี:

• เทคโนโลยีการควบคุมสำหรับแบริ่งแม่เหล็ก: แกนลอยแม่เหล็กแบบ 5 แกนตามทฤษฎีการควบคุมขั้นสูงระหว่างประเทศ เพื่อรับประกันข้อได้เปรียบที่สำคัญของเพลาความเร็วสูง เช่น การทำงานแบบลอยตัวที่เสถียรและเชื่อถือได้
• เทคโนโลยีการควบคุมมอเตอร์ไดรฟ์: มอเตอร์ DC ความเร็วสูงและระบบควบคุมเซอร์โวที่มีประสิทธิภาพสูง มีพลังงานสูงสุดของมอเตอร์และเพื่อชดเชยความเร็วในการหมุนของเพลาโดยอัตโนมัติ จึงทำให้เกิดการเริ่มต้นที่เสถียร การทำงานที่เชื่อถือได้ และฟังก์ชันการควบคุมอัตโนมัติของพลังงานไดนามิก
• เทคโนโลยีโรเตอร์คอมโพสิตคาร์บอนไฟเบอร์: ผลิตจากโลหะผสมอะลูมิเนียมที่มีความแข็งแรงสูงและคาร์บอนไฟเบอร์น้ำหนักเบาโดดเด่นด้วยการลดน้ำหนักที่ยอดเยี่ยมและการปรับปรุงความแข็งแรงอย่างมาก เพื่อให้บรรลุเป้าหมายที่มีความเร็วการหมุนสูง ประสิทธิภาพสูง และความน่าเชื่อถือสูง
• เทคโนโลยีต้านทานการกัดกร่อน: พื้นผิวของชิ้นส่วนในห้องเพาะเลี้ยงได้รับการบำบัดด้วยกระบวนการพิเศษ เพื่อให้พื้นผิวสามารถต้านทานการกัดกร่อนที่เกิดจากก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ได้เป็นเวลานานนอกจากนี้ ก๊าซเฉื่อยเช่น N2 จะถูกเติมเข้าไปในเพลาของปั๊มจนเต็ม เพื่อป้องกันชิ้นส่วนสูญญากาศต่ำในปั๊ม เพื่อให้เกิดการทำงานของก๊าซกัดกร่อนที่ระบายออกได้อย่างเสถียรเป็นระยะเวลานาน
• ระบบควบคุมอุณหภูมิความร้อน: ติดตั้งฮีตเตอร์ไฟฟ้าและตัวควบคุมอุณหภูมิ น้ำหล่อเย็น ระบบทำความร้อนแบบกระดูก ความร้อนไฟฟ้าและความร้อนที่เกิดจากก๊าซป้องกัน สามารถตรวจสอบและควบคุมระหว่างการทำงาน อุณหภูมิในปั๊มสามารถคงค่าไว้ได้ในระยะยาว ก๊าซบางส่วน สารจะไม่ถูกแปลงเป็นสารที่เป็นของแข็งที่อุณหภูมิปกติและไม่สะสมในปั๊ม และสามารถปฏิบัติตามข้อกำหนดสำหรับกระบวนการพิเศษของการกัดดังกล่าวได้