ปั๊มสุญญากาศ Turbomolecular ลอยด้วยแม่เหล็กการสั่นสะเทือนต่ำ CXF-320/3000E

ปั๊ม Maglev , CXF-320/3000E , Waterr cooling , ISO-F , ตัวควบคุมภายนอก

ปั๊มโมเลกุลที่ลอยด้วยแม่เหล็กคือปั๊มที่มีการรองรับเพลาโดยอาศัยแรงแม่เหล็ก

ซีรีย์ปั๊มโมเลกุลลอยด้วยแม่เหล็กเป็นอุปกรณ์สร้างสุญญากาศที่พัฒนาโดย KYKY เพื่อให้ตรงตามข้อกำหนดการใช้งานสำหรับสาขาการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ทันสมัย ​​การผลิตชิป การชุบอุตสาหกรรม และเครื่องมือทางวิทยาศาสตร์

แบริ่งแม่เหล็กไฟฟ้าเรียกอีกอย่างว่า ”active magnetic levitated bears” ซึ่งประกอบด้วยตลับลูกปืนแม่เหล็ก เซ็นเซอร์ และระบบควบคุมการออกแบบนี้มีการตอบสนองแบบไดนามิกและการปรับในเวลาที่เหมาะสม เพลาความเร็วสูง และการทำงานที่เชื่อถือได้

ข้อดี:

1. แรงเสียดทานเป็นศูนย์ระหว่างการทำงานและใช้พลังงานต่ำ

2. ง่ายต่อการรับสูญญากาศสูงและสูญญากาศสูงพิเศษโดยไม่ต้องหล่อลื่นสำหรับปั๊ม

3. สามารถสกัดก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนได้ในระยะยาว

4. ความปลอดภัยสูงและอายุการใช้งานยาวนานเนื่องจากมีการป้องกันลูกปืนด้วยลูกปืนเซรามิกที่แม่นยำ

5. ฟังก์ชั่นสร้างพลังงานในกรณีที่ปิดเครื่องกะทันหัน

6. ปราศจากแรงเสียดทาน

7. ปราศจากมลภาวะ

8. ฟรีบำรุงรักษา

9. การสั่นสะเทือนต่ำ

10. ติดตั้งในทิศทางใดก็ได้

เทคโนโลยี:

• เทคโนโลยีการควบคุมสำหรับแบริ่งแม่เหล็ก: 5 แกนลอยด้วยแม่เหล็กการออกแบบนี้สามารถมีการตอบสนองแบบไดนามิกและการปรับเปลี่ยนได้ทันท่วงทีโดยใช้เทคโนโลยีควบคุมระบบกันสะเทือนแบบแม่เหล็กวงจรปิดแบบแอคทีฟไดนามิกตามทฤษฎีการควบคุมขั้นสูงระหว่างประเทศ เพื่อรับประกันข้อได้เปรียบที่สำคัญของเพลาความเร็วสูง เช่น การทำงานแบบลอยตัวที่เสถียรและเชื่อถือได้
• เทคโนโลยีการควบคุมมอเตอร์ไดรฟ์: มอเตอร์ DC ความเร็วสูงประสิทธิภาพสูงและระบบควบคุมเซอร์โวถูกนำไปใช้กับปั๊มลอยแม่เหล็กแบบซีรีส์ ดังนั้นเพื่อให้มีพลังงานสูงสุดของมอเตอร์และเพื่อชดเชยความเร็วในการหมุนของเพลาโดยอัตโนมัติ จึงทำให้เกิดการเริ่มต้นที่เสถียร การทำงานที่เชื่อถือได้ และการควบคุมอัตโนมัติ หน้าที่ของพลังงานไดนามิก
• เทคโนโลยีโรเตอร์คอมโพสิตคาร์บอนไฟเบอร์: โรเตอร์เทอร์โบของปั๊มโมเลกุลแขวนลอยแม่เหล็กแบบอนุกรมผลิตขึ้นโดยการผสมอลูมิเนียมที่มีความแข็งแรงสูงและคาร์บอนไฟเบอร์น้ำหนักเบาเมื่อเปรียบเทียบกับโรเตอร์อะลูมิเนียมอัลลอยทั้งหมด โรเตอร์เทอร์โบนั้นมีลักษณะเด่นในการรับน้ำหนักที่ลดลงอย่างมากและความแข็งแกร่งที่เพิ่มขึ้นอย่างมาก เพื่อให้บรรลุเป้าหมายที่มีความเร็วในการหมุนสูง ประสิทธิภาพสูง และความน่าเชื่อถือสูง
• เทคโนโลยีต้านทานการกัดกร่อน: พื้นผิวของชิ้นส่วนในห้องของปั๊มโมเลกุลแขวนลอยแม่เหล็กแบบอนุกรมได้รับการบำบัดด้วยกระบวนการพิเศษ เพื่อให้พื้นผิวสามารถต้านทานการกัดกร่อนที่เกิดจากก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เป็นเวลานานนอกจากนี้ ก๊าซเฉื่อยเช่น N2 จะถูกเติมเข้าไปในเพลาของปั๊มจนเต็มเพื่อป้องกันชิ้นส่วนสูญญากาศต่ำในปั๊ม เพื่อให้เกิดการทำงานของก๊าซกัดกร่อนที่ระบายออกได้อย่างเสถียรเป็นเวลานาน
• ระบบควบคุมอุณหภูมิความร้อน: ซีรีส์ปั๊มโมเลกุลลอยด้วยแม่เหล็กติดตั้งฮีตเตอร์ไฟฟ้าและตัวควบคุมอุณหภูมิ เพื่อให้น้ำหล่อเย็น ความร้อนจากกระดูก ความร้อนไฟฟ้า และความร้อนที่เกิดจากก๊าซป้องกันสามารถตรวจสอบและควบคุมระหว่างการทำงานได้ รักษาอุณหภูมิในปั๊มได้ที่ ค่าบางอย่างในระยะยาว สารก๊าซบางชนิดจะไม่เปลี่ยนเป็นสารของแข็งที่อุณหภูมิปกติและไม่สะสมในปั๊ม และข้อกำหนดสำหรับกระบวนการพิเศษเช่นการแกะสลักสามารถบรรลุได้

ข้อมูลจำเพาะ:

การใช้งาน:

ซีรีย์ปั๊มโมเลกุลลอยด้วยแม่เหล็กส่วนใหญ่ใช้กับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การผลิตคลิป การชุบอุตสาหกรรมและเครื่องมือทางวิทยาศาสตร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการสกัดก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนที่มีอยู่ในการกัด CVD PVD และการฝังไอออนและก๊าซที่ตกตะกอนได้ง่ายที่อุณหภูมิปกติ