Maglev Lubrication Turbomolecular Pump Water Cool CE

เครื่องทำน้ำเย็น Maglev Lubrication Turbomolecular Pump CE

ปั๊มโมเลกุลที่ลอยด้วยแม่เหล็กคือปั๊มที่มีการรองรับเพลาโดยอาศัยแรงแม่เหล็ก

ซีรีย์ปั๊มโมเลกุลลอยด้วยแม่เหล็กเป็นอุปกรณ์สร้างสุญญากาศที่พัฒนาโดย KYKY เพื่อให้ตรงตามข้อกำหนดการใช้งานสำหรับสาขาการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ทันสมัย ​​การผลิตชิป การชุบอุตสาหกรรม และเครื่องมือทางวิทยาศาสตร์

เทคโนโลยี:

• เทคโนโลยีการควบคุมสำหรับแบริ่งแม่เหล็ก: แม่เหล็กไฟฟ้าที่นำมาใช้นั้นเป็นแบบ 5 แกนที่ลอยด้วยสนามแม่เหล็กการออกแบบนี้สามารถมีการตอบสนองแบบไดนามิกและการปรับเปลี่ยนได้ทันท่วงทีโดยใช้เทคโนโลยีควบคุมระบบกันสะเทือนแบบแม่เหล็กวงจรปิดแบบแอคทีฟไดนามิกตามทฤษฎีการควบคุมขั้นสูงระหว่างประเทศ เพื่อรับประกันข้อได้เปรียบที่สำคัญของเพลาความเร็วสูง เช่น การทำงานแบบลอยตัวที่เสถียรและเชื่อถือได้
• เทคโนโลยีการควบคุมการขับเคลื่อนของมอเตอร์: มอเตอร์ DC ความเร็วสูงและระบบควบคุมเซอร์โวที่มีประสิทธิภาพสูงถูกนำไปใช้กับปั๊มแบบลอยตัวด้วยแม่เหล็กแบบอนุกรม ดังนั้นเพื่อให้มีพลังงานสูงสุดของมอเตอร์และเพื่อชดเชยความเร็วในการหมุนของเพลาโดยอัตโนมัติ จึงทำให้เกิดการสตาร์ทเครื่องที่เสถียร การทำงานที่เชื่อถือได้และฟังก์ชั่นการควบคุมอัตโนมัติของพลังงานไดนามิก
• เทคโนโลยีโรเตอร์คอมโพสิตคาร์บอนไฟเบอร์: โรเตอร์เทอร์โบของปั๊มโมเลกุลระงับแม่เหล็กแบบอนุกรมทำขึ้นโดยการผสมอลูมิเนียมที่มีความแข็งแรงสูงและคาร์บอนไฟเบอร์น้ำหนักเบาเมื่อเปรียบเทียบกับโรเตอร์อะลูมิเนียมอัลลอยทั้งหมด โรเตอร์เทอร์โบนั้นมีลักษณะเด่นในการรับน้ำหนักที่ลดลงอย่างมากและความแข็งแกร่งที่เพิ่มขึ้นอย่างมาก เพื่อให้บรรลุเป้าหมายที่มีความเร็วในการหมุนสูง ประสิทธิภาพสูง และความน่าเชื่อถือสูง
• เทคโนโลยีต้านทานการกัดกร่อน: พื้นผิวของชิ้นส่วนในห้องของปั๊มโมเลกุลแขวนลอยแม่เหล็กแบบอนุกรมได้รับการบำบัดด้วยกระบวนการพิเศษ เพื่อให้พื้นผิวสามารถต้านทานการกัดกร่อนที่เกิดจากก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ได้เป็นเวลานานนอกจากนี้ ก๊าซเฉื่อยเช่น N2 จะถูกเติมเข้าไปในเพลาของปั๊มจนเต็มเพื่อป้องกันชิ้นส่วนสูญญากาศต่ำในปั๊ม เพื่อให้เกิดการทำงานของก๊าซกัดกร่อนที่ระบายออกได้อย่างเสถียรเป็นเวลานาน
• ระบบควบคุมอุณหภูมิความร้อน: ชุดปั๊มโมเลกุลลอยด้วยแม่เหล็กมีการติดตั้งฮีตเตอร์ไฟฟ้าและตัวควบคุมอุณหภูมิ เพื่อให้น้ำหล่อเย็น ความร้อนจากอากาศในกระดูก เครื่องทำความร้อนไฟฟ้า และความร้อนที่เกิดจากก๊าซป้องกันสามารถตรวจสอบและควบคุมระหว่างการทำงาน อุณหภูมิใน สามารถรักษาปั๊มไว้ที่ค่าหนึ่งได้ในระยะยาว สารก๊าซบางชนิดจะไม่ถูกแปลงเป็นสารแข็งที่อุณหภูมิปกติและไม่ถูกสะสมในปั๊ม และสามารถปฏิบัติตามข้อกำหนดสำหรับกระบวนการพิเศษเช่นการกัดได้

ข้อมูลจำเพาะ:

การใช้งาน:

ซีรีย์ปั๊มโมเลกุลลอยด้วยแม่เหล็กส่วนใหญ่ใช้กับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การผลิตคลิป การชุบอุตสาหกรรมและเครื่องมือทางวิทยาศาสตร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการสกัดก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนที่มีอยู่ในการกัด CVD PVD และการฝังไอออนและก๊าซที่ตกตะกอนได้ง่ายที่อุณหภูมิปกติ